Основные технические характеристики

• Размер области однородного излучения: 6” 
• Однородность пучка:
  •     < ±1% в пределах области 2” (круг)
  •     < ±2% в пределах области 4” (круг)
  •     < ±3% в пределах области 6” (круг)
• Разрешающая способность:
  •     < 0.5 микрон для вакуумного и жёсткого контакта (экспонирование в ближнем УФ)
  •     < 0.3 микрон для вакуумного и жёсткого контакта (экспонирование в дальнем УФ)
• Точность совмещения : +/- 0.5 микрон
• Работа с позитивными, негативными и толстыми фоторезистами, толщина фоторезиста SU-8 до 300 микрон в пропорции до 10:1 
• Мягкий, жёсткий, вакуумный контакты и экспонирование с зазором 
• 6” источник излучения для экспонирования, спектральные линии G, H и I
• Работа с 2”, 3” ,4”, 6” круглыми и квадратными подложками
• Регулируемый по мощности 2-х канальный источник питания для ближнего УФ с постоянной интенсивностью, мощность 350 Вт. 
• Источники питания 500, 1000 и 2000 Вт в ближнем и дальнем УФ (опция)
• Сдвоенная ПЗС-камера и микроскоп, с единым и расщеплённым полем (опция).