Область применения:
Универсальная установка с боксовой камерой. Может быть оснащена практически любыми источниками осаждения и вспомогательными устройствами, такими как электронно-лучевая пушка, источники термического испарения, распыления, ионная пушка, тлеющий разряд, масс-спектрометр, оптический монитор, лазерный детектор конечной точки, интерферометр, эллипсометр, и др.
Техническая спецификация:
Прямоугольная камера из нержавеющей стали с трубами водяного охлаждения и 4” смотровыми окнами, высокопроизводительная автоматическая откачная система, ПЛК контроллер и различные держатели подложек, включая фиксированный охлаждаемый держатель, вращающийся и планетарный держатель с фиксированным или регулируемым углом.
Модель TFDS 141-K:
- Компактная высоковакуумная установка для нанесения высококачественных оптических покрытий.
- Планетарный держатель подложек из нержавеющей стали.
- Шесть пластинок для подложек диаметром 150 мм с регулируемым углом.
- Нагреватель подложек - 4 кВт кварцевые лампы (4Х1000 Вт).
- Электронно-лучевая пушка с испарителем на 4Х40 куб. см.
- Два источника термического испарения 1000А.
- Полностью автоматический контроллер осаждения.
- Библиотека материалов и процессов.
- Шесть держателей кварцевых датчиков толщины.
Модель TFDS 141-T:
- Компактная высоковакуумная установка для нанесения покрытий для крупногабаритных стекол и пластиков.
- Планетарный держатель подложек из нержавеющей стали.
- Нагреватель подложек из 4 кВт кварцевых ламп (4Х1000 Вт).
- Четыре источника термического испарения.
- Полностью автоматизированный контроллер осаждения.
- Библиотека материалов и процессов.
- Осаждение с ассистированием ионным лучом.
Модель TFDS 141-E:
- Компактная высоковакуумная установка для нанесения покрытий для малогабаритных полупроводниковых заготовок.
- Восемь плоских держателей подложек диаметром 6” с регулируемым углом.
- Нагреватель подложек из 3 кВт кварцевых ламп (6Х500 Вт).
- Электронно-лучевая пушка с испарителем на 6Х25 куб. см.
- Полностью автоматизированный контроллер осаждения.
- Библиотека материалов и процессов.
- Высокопрецизионный изменяемый на 90° угол испарения.
- Лазерный регулировочный инструмент для подложек.
- Вращающиеся плоские держатели.
Модель TFDS 141-P:
- Компактная высоковакуумная установка для нанесения покрытий для крупногабаритных защитных покрытий.
- Планетарный держатель подложек из нержавеющей стали.
- Нагреватель подложек из 4 кВт кварцевых ламп (4Х1000 Вт).
- Мощный источник плазмы высокой однородности.
- Полностью автоматизированный контроллер осаждения.
- Настройка системы по требованиям клиента.