Описание

Система очистки больших подложек NANO-MASTER представляет собой автономное устройство с компьютерным управлением, предназначенное для очистки больших подложек с внешним диаметром до 21 дюйма. Сенсорный экран на передней панели в сочетании с графическим интерфейсом, разработанным в LabVIEW обеспечивают расширенные возможности управления по сравнению с системами индивидуальной очистки подложек. Так, например, система оснащена функцией разграничения уровней доступа с правами для оператора, инженеров-технологов и обслуживания.

Системы для очистки больших подложек построены на базе запатентованных технологий мегазвуковой очистки и химического распыления, аналогичных системам индивидуальной очистки. Сочетание функций управления среды LabVIEW и технологической камеры большего размера обеспечивает поддержку дополнительных опций, таких как озонированная деионизированная вода, деионизированная вода под высоким давлением, работа с предварительными фотошаблонами с пеликлами и режим очистки «Пиранья». Возможна автоматическая загрузка/разгрузка отдельных кассет и подложек.

Характеристики

• Внешний диаметр 21 дюйм, подложки 15x15 дюймов и пластины до 450 мм;
• Мегазвуковая очистка без повреждения образца;
• Щетка из поливинилацетата с переменной скоростью вращения;
• Дозирование химикатов с отсасывающими обратными клапанами;
• Двойной дренаж для кислот и растворителей;
• Полная автоматизация процесса под управлением ПК в соответствии с заданной программой;
• Интерфейс пользователя с сенсорным экраном;
• Ручная загрузка и выгрузка;
• Защитные блокировки и аварийные сигналы;
• Размер основания 32х28 дюймов.

Опции

• Очистка фотошаблонов с пелликлами;
• Двухсторонняя очистка щеткой и мегазвуковая очистка;
• Модуль подачи химикатов;
• Датчики уровня в сосудах с химикатами;
• Очистка в режиме «Пиранья»;
• Озонированная деионизированная вода (концентрация O3 20 ppm);
• Подача деионизированной воды под высоким давлением;
• Подогрев деионизированной воды;
• Ионизатор азота;
• Ввод CO2 с мониторингом удельного сопротивления деионизированной воды;
• Материалы FM4910;
• Роботизированная загрузка/выгрузка с контейнером для полупроводниковых пластин со стандартным механическим интерфейсом.

Область применения

• Кремниевые и сапфировые пластины; 
• Кристаллы на платине;
• Панели экранов;
• Экраны, покрытые оксидом индия и олова;
• Очистка фотошаблонов с нанесенным или не нанесенным структурными элементами;
• Заготовки фотошаблонов со слоем фоторезиста;
• Фотошаблоны с пелликлами;
• Контактные фотошаблоны.