Описание

Современные полупроводниковые технологии достигли нано-уровня и тематика многих исследований и производств, так или иначе ставит задачу стабильного воспроизведения химических/физических условий процесса. Особое внимание обращается на измерение и анализ остаточного газа в рабочих камерах различных вакуумных систем. HORIBA STEC предлагает анализаторы остаточного газа (RGA) с самым маленьким в мире квадрупольным масс-спектрометром.

Самое маленькое в мире исполнение системы масс-спектрометрии :

• самая маленькая и легкая в мире;
• построена на девяти парах квадруполей;
• может работать в условиях низкого вакуума (высокого давления) 1,46 Па (11 мТорр);
• высокая скорость измерения. Скорость сканирования: 0,6 сек/масс. Разрешение: 0,5 AMU. Предел обнаружения: 1-10-8 Па;
• используются съемные и легло заменяемые сенсорные головки;
• не требует дегазации;
• возможность соединения с фланцем CF35;
• доступны различные графические режимы для анализа остаточного газа.

Принцип измерения

Анализатор MicroPole™

Характеристики, которыми обладает анализатор остаточных газов Micropole™, обеспечиваются уникальным анализатором MicroPole™ (MPA), состоящий из девяти квадруполей, которые включают в себя все преимущества технологии обработки ультра-прецизионным оптическим травлением и технологии стыков стекло/металл. Развитие MPA позволило создать самый маленький в мире анализатор остаточного газа с похожей или лучшей чувствительностью по сравнении с традиционными и большими масс-спектрометрами. Сенсорный блок анализатора уже откалиброван под парциальное давление, и позволяет получить полное абсолютное и парциальные давления остаточных газов.

Технические характеристики